상단여백
HOME IT·산업 산업
원익IPS, 삼성전자向 3나노 파운드리 양산 공정 진입 성공
이정훈 기자 | 승인 2022.08.08 15:18
   
▲ ▲ 원익아이피에스 본사

원익아이피에스(대표이사:이현덕, 240810)는 PECVD 성장 방식 공정과 멀티패터닝 기술이 적용된 박막 생성 및 저온 기술 이 적용된 GAA기술로 3nm 파운드리 제품의  양산을 진행하고 출하식을 가졌다고  금일 밝혔다.

원익아이피에스 기술이 적용되어 첫 양산된 GAA 3nm 파운드리 제품은 삼성전자에서 진행했으며 GAA를 적용한 3nm 파운드리 제품에 세계 첫 양산을 축하 하기 위한 출하식을 개최하기도 했다.   

이번 출하된 제품에는 원익아이피에스(원익IPS)의 GEMINI 설비를 활용하여 PECVD 방식으로 개발된 신규 공정이 적용되었고, 신규 개발에 성공한 공정 기술은 EUV 공정 도입에 따라 필요한 신규 박막을 PECVD 방식으로 성장시키는 기술, SADP(Self-Align Double Patterning)방식에 적합한 박막을 생성하는 기술 및 저온에서 하드마스크의 고품질을 유지할 수 있는 공정 기술이 적용되었다. 

현재 원익아이피에스는 3nm의 파운드리 제품의 세계 첫 양산 진입에 필요한 신규 공정과 장비의 개발에 성공하여 우리나라의 반도체 산업 선도에 동참하고 있다.

출하식에서 원익아이피에스의 이현덕 대표는 “삼성전자社의 3나노 GAA 파운드리 공정 양산을 준비하면서 원익IPS 역량도 강해졌다”며 “국내 반도체 장비 발전을 위해 노력하겠다”고 말했다.

한편, 원익아이피에스는 3나노 공정 안착을 위해 연구 개발을 지속할 예정이며, 세계 최초 제품을 만들어 내는 만큼 단순한 반도체 장비의 국산화를 넘어 글로벌 기업으로 자리잡기 위한 투자를 이어갈 계획이다.

이정훈 기자  bodo@emoneynews.co.kr

<저작권자 © 이머니뉴스, 무단 전재 및 재배포 금지>

이정훈 기자 bodo@emoneynews.co.kr
산업부를 담당하는 이정훈 기자입니다.

이정훈 기자의 다른기사 보기
icon인기기사
기사 댓글 0
전체보기
첫번째 댓글을 남겨주세요.
신문사소개기사제보광고문의불편신고개인정보취급방침청소년보호정책이메일무단수집거부
(주)엔케이디미디어  |  사업자등록번호 : 106-88-00193  |  대표전화 : (02)543-2949  |  팩스 : (02)6455-2078
서울시 서초구 서초중앙로 8길 24 서초 카라얀타워빌딩 6층
정기간행물 등록번호 : 서울 아 03922  |  창간일 : 2009. 7.24   |  기사 발행일 : 2009.7.24  |  등록일 : 2015.10.5
발행인 : 심지현  |  편집인 : 권병우  |  청소년 보호책임자 : 권병우(제호 : 이머니뉴스)
보도자료 : bodo@emoneynews.co.kr  |  제휴·업무관련 : nkdmedia@daum.net
Copyright © 2009 이머니뉴스 | (주)엔케이디미디어. All rights reserved. (이머니뉴스는 인터넷신문 윤리강령을 준수합니다)
Back to Top