리소그래피 광원의 주요 제조업체인 기가포톤 주식회사(Gigaphoton Inc.)(본사: 토치기현 오야마시, 대표이사: 토마루 히토시, www.gigaphoton.com)는 자사의 ‘무헬륨(Helium Free)’ 기술을 이용한 고출력 ArF액침 엑시머 레이저(이하 ArF 레이저)의 헬륨가스 감축량이 전세계적으로 연간 1만 킬로리터에 달한다고 발표했다.

기가포톤은 2013년부터 환경에 미치는 영향을 줄이는 고객사의 ‘그린 이노베이션' 활동을 독자적인 ‘에코포톤(EcoPhoton) 프로그램’을 통해 진행 중이며, 축적한 풍부한 실적과 경험을 바탕으로 지금까지 주로 고객사의 다양한 비용을 절감해 왔다. 또한 7월에는 그린 이노베이션의 새로운 로드맵도 발표했다. 헬륨가스 공급 우려에 대한 솔루션인 ‘무헬륨’ 기술은 반도체 업계뿐만 아니라 산업계에 널리 기여하고 있다.

‘무헬륨’ 기술은 ArF 레이저 안에서 퍼지 가스로 사용되는 헬륨가스를 질소로 대체함으로써 헬륨가스의 사용량을 99％ 감축시키는 세계 최초 기술이다. 또한 질소로 대체하더라도 광학 특성을 훼손시키지 않으면서 헬륨가스를 사용 할 때와 동등하게 뛰어난 안정성을 유지할 수 있는 특징이 있다. 한 대형 메모리 제조업체가 이미 양산 라인의 90％ 이상의 레이저에 이 기술을 채택했다. 채택 후에도 노광 프로세스에 영향을 주지 않고 안정적으로 가동 중이다. 현재 ‘무헬륨’ 기술을 이용하여 얻어지는 ArF 레이저 1대당 헬륨가스 감축량은 연간 평균 약 80킬로리터지만, 시장에 있는 과반수의 레이저에 이 기술이 적용되었기 때문에 전세계적으로 헬륨가스 감축량은 연간 총 1만 킬로리터를 기록했다(당사 조사).

기가포톤 대표이사 겸 CEO인 토마루 히토시는 “헬륨은 반도체 업계보다도 MRI등의 의료분야 및 자기부상열차 등의 분야에서 대체가 힘든 물질로 수요가 매우 높다. 신흥국에서의 수요는 계속 증가하고 있는 반면, 공급 능력은 늘지 않아 헬륨 부족 우려가 높다. 반도체 업계가 이 ‘무헬륨’ 기술 채택함으로써, 헬륨을 더 필요로 하는 분야로 공급을 늘릴 수 있게 되었다. 기가포톤은 산업계에 이러한 공헌을 해나가는 데 계속 매진하겠다”고 말했다.

 

윤병철 기자  bodo@emoneynews.co.kr

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