»ó´Ü¿©¹é
HOME ±³À°¡¤°úÇÐ °úÇÐ/±â¼ú ±ÝÁÖÀÇ Àι°
À±¼ø±æ±³¼ö,»óº¯È­Àç·á¹Ú¸·,³ª³ë¿ÍÀ̾îÁ¦Á¶¹ý±Ô¸í³ª³ë·¹ÅÍò¼ ¹ßÇ¥, Â÷¼¼´ë ºñÈֹ߼º ¸ÖƼ ·¹º§ ¸Þ¸ð¸® °³¹ß °¡´É¼º ¿­¾î
±³À°/°úÇкΠ| ½ÂÀÎ 2010.01.01 11:39
   
¡ã À±¼ø±æ±³¼ö
Ãæ³²´ëÇб³ À±¼ø±æ ±³¼ö ¿¬±¸ÆÀÀÌ Àú¿Â¿¡¼­ È­Çбâ»óÁõÂø¹ý(CVD)À» ÀÌ¿ëÇÏ¿© »óº¯È­¸Þ¸ð¸® Àç·áÀÇ ¹Ú¸·°ú ³ª³ë¿ÍÀ̾ Á¦Á¶ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¸ÞÄ¿´ÏÁòÀ» ±Ô¸íÇÏ¿´´Ù.

À±¼ø±æ ±³¼öÀÇ ÁÖµµÇÏ¿¡ ÁøÇàµÈ À̹ø ¿¬±¸´Â ¡â¾ÈÁر¸ ¹Ú»ç°úÁ¤»ý(Á¦1ÀúÀÚ, Ãæ³²´ë) ¡â¹Ú°æ¿ì ¼®»ç°úÁ¤»ý(Ãæ³²´ë) ¡âÁ¤ÇöÁØ ¼®»ç°úÁ¤»ý(Ãæ³²´ë)ÀÌ Âü¿©ÇÑ ¿¬±¸·Î, ¼ø¼ö ±¹³» ¿¬±¸Àη¸¸À¸·Î Àϱų½ ¿ì¼ö ¿¬±¸¼º°ú¶ó´Â Á¡¿¡¼­ ÀÇÀÇ°¡ Å©´Ù.

ÀÌ ¿¬±¸´Â ±³À°°úÇбâ¼úºÎ(Àå°ü ¾Èº´¸¸)¿Í Çѱ¹¿¬±¸Àç´Ü(ÀÌ»çÀå ¹ÚÂù¸ð)ÀÌ Áö¿øÇÏ´Â ¡âÁß°ß¿¬±¸ÀÚÁö¿ø»ç¾÷ Áß µµ¾à¿¬±¸, Çٽɿ¬±¸ ¡â2´Ü°è BK21»ç¾÷ µîÀÇ Áö¿øÀ» ¹Þ¾Æ ¼öÇàµÇ¾ú´Ù.

ƯÈ÷ À̹ø ¿¬±¸°á°ú´Â ³ª³ëºÐ¾ßÀÇ ¼¼°èÀûÀÎ °úÇÐÀú³ÎÀÎ ‘³ª³ë·¹ÅÍ(Nano Letters)’ò¼ Áö³­ÇØ 12¿ù 29ÀÏ(È­)ÀÚ ¿Â¶óÀÎ ÆÇ¿¡ °ÔÀçµÇ¾ú´Ù.

À±¼ø±æ ±³¼ö ¿¬±¸ÆÀÀº Àú¿Â¿¡¼­ È­Çбâ»óÁõÂø¹ýÀ» ÀÌ¿ëÇØ »óº¯È­Àç·áÀÎ IST(In-Sb-Te) ¹Ú¸· Á¦Á¶¿Í ³ª³ë¿ÍÀÌ¾î ¼ºÀåÀ» Á¶ÀýÇÏ¿©, °íÁýÀû »óº¯È­¸Þ¸ð¸® ¼ÒÀÚ¸¦ ÀÀ¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °øÁ¤¹æ¹ýÀ» °³¹ßÇÏ¿´´Ù.

Áö±Ý±îÁö »óº¯È­Àç·á¿¡ ´ëÇÑ ¿¬±¸´Â ´ëºÎºÐ Ge-Sb-Te(GST) Àç·á¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ °ÍÀ¸·Î, °íÁýÀû ¼ÒÀÚ¸¦ ¸¸µé±â À§ÇÑ CVD °øÁ¤±â¼ú È®º¸¸¦ À§ÇØ ÁýÁßÀûÀ¸·Î ÁøÇàµÇ¾ú´Ù. ±×·¯³ª ¼¼°è ¼±Áø ¿¬±¸±â°üµµ ¾ÆÁ÷±îÁö 100nm±Þ ¼ÒÀÚ Àû¿ë °øÁ¤±â¼úÀ» È®º¸ÇÏÁö ¸øÇÑ ½ÇÁ¤ÀÌ°í, GST ¹°ÁúÀÇ ¿øõƯÇãµµ ¼±Áø±¹¿¡ ÁýÁßµÇ¾î ¿¬±¸°³¹ßÀÌ ¾î·Á¿ü´Ù.

±×·¯³ª À± ±³¼öÆÀÀº ´ë ¸éÀû ¾ç»êÀÌ °¡´ÉÇÑ À¯±â±Ý¼Ó È­ÇÐÁõÂø¹ý(MOCVD)À» ÀÌ¿ëÇØ, ISTÀç·á¸¦ Àú¿Â(¾à 250oC)¿¡¼­ ´Ü¼øÇÑ °øÁ¤¾Ð·Â Á¶ÀýÀ» ÅëÇØ ¹Ú¸· ÁõÂø°ú ³ª³ë¿ÍÀ̾î Á¦Á¶¿¡ ¼º°øÇÏ¿´´Ù.

±âÁ¸ÀÇ ³ª³ë¿ÍÀ̾îµéÀÌ ³ôÀº ¿Âµµ(>500oC)¿¡¼­ Ã˸ŹÝÀÀÀ¸·Î Á¦Á¶µÇ´Â ¹Ý¸é¿¡, À̹ø ¿¬±¸´Â ±Ý(Au) µî ±Í±Ý¼Ó ³ª³ëµµÆ®(Nano dot)µéÀÇ Ã˸ŹÝÀÀ ¾øÀÌ, Àú¿Â(~ 250oC)¿¡¼­ 13x102PaÀÇ °øÁ¤¾Ð·Â º¯È­¸¦ ÅëÇØ »óº¯È­ Àç·áÀÎ IST ³ª³ë¿ÍÀ̾ Á¦Á¶ÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù.

ÀÌ·¸°Ô Á¦Á¶µÈ IST ³ª³ë¿ÍÀ̾ ÀÌ¿ëÇÏ¿© »óº¯È­ ¸Þ¸ð¸® ¼ÒÀÚÀÇ Æ¯¼ºÀ» ±¸ÇöÇÑ °á°ú, ¾à 1.6V¿¡¼­ ¹®ÅÎÀü¾Ð(Threshold Voltage)À» ³ªÅ¸³»¾ú°í, °¢°¢ ºñÁ¤Áú(Amorphous)°ú °áÁ¤Áú(Crystalline)¿¡¼­ 100¹èÀÇ Â÷À̸¦ º¸ÀÌ´Â ¸Þ¸ð¸® Ư¼ºÀ» º¸¿´À¸¸ç, ¸ÖƼ ·¹º§ÀÇ ¸Þ¸ð¸® ±¸µ¿ °¡´É¼ºµµ È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù. 

¶ÇÇÑ À±¼ø±æ ±³¼öÆÀÀº °³¹ßµÈ MOCVD °øÁ¤±â¼ú¹ýÀ» ÀÌ¿ëÇØ, 100nm±Þ Æ®·»Ä¡±¸Á¶¿¡ 95% ÀÌ»óÀÇ ´ÜÂ÷ÇǺ¹(Step Coverage)À» º¸ÀÌ´Â °øÁ¤±â¼úÀ» °³¹ßÇÏ¿´°í, Àç·áÀÇ Á¶¼ºÀ» °£´ÜÇÏ°Ô Á¶ÀýÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹æ¹ý°ú ÁõÂø¼Óµµ¸¦ ³ôÀÌ´Â °øÁ¤±â¼úÀ» È®º¸Çϴµ¥µµ ¼º°øÇÏ¿´´Ù.

À̸¦ ÅëÇØ Á¦Á¶µÈ IST Àç·áÀÇ ¹°¼º Ư¼ºÀ» Æò°¡ÇÑ °á°ú, Á¦Á¶µÈ IST Àç·á´Â ºñÁ¤Áú»óÀ¸·Î¼­, ¸Þ¸ð¸® ¼¿ ¾È¿¡ °í¸£°Ô ÁõÂøµÇ¾î ±âÁ¸ÀÇ ³·Àº °áÁ¤È­ ¿Âµµ·Î ÀÎÇØ, CVD¸¦ ÅëÇÑ °íÁýÀû ¸Þ¸ð¸® ¼¿ Á¦Á¶ÀÇ ¾î·Á¿òÀÌ ÀÖ¾ú´ø GST Àç·á °³¹ßÀÇ ¹®Á¦Á¡À» ÇØ°áÇÏ¿´´Ù.

¶ÇÇÑ IST Àç·á¸¦ ÀÌ¿ëÇØ ¸Þ¸ð¸® ¼ÒÀÚ Æ¯¼ºÀ» ºÐ¼®ÇÑ °á°ú, ¸ÖƼ ·¹º§ÀÇ ¸Þ¸ð¸® ±¸µ¿ Ư¼ºÀ» ³ªÅ¸³»´Â °ÍÀ¸·Î È®ÀεǾî, Â÷¼¼´ë ºñÈֹ߼º ¸ÖƼ ·¹º§ ¸Þ¸ð¸® °³¹ßÀÇ °¡´É¼ºÀ» ¿­¾ú´Ù. 

¿¬±¸¸¦ ÁÖµµÇÑ À±¼ø±æ ±³¼ö´Â “À̹ø ¿¬±¸´Â Áö±Ý±îÁö CVD¹æ¹ýÀ» ÅëÇÑ »óº¯È­¸Þ¸ð¸® Àç·áÀÇ °íÁýÀû °øÁ¤±â¼ú °³¹ßÀÇ ¾î·Á¿òÀ» ±Øº¹ÇÏ¿©, ¼ø¼ö ±¹³» ¿¬±¸ÁøÀÌ Àú¿Â MOCVD ¹æ¹ýÀ¸·Î ´Ü¼ø °øÁ¤¾Ð·Â Á¶ÀýÀ» ÅëÇØ ¹Ú¸·°ú ³ª³ë¿ÍÀ̾ Á¦Á¶ÇÒ ¼ö Àִ ȹ±âÀûÀÎ ¿øõ °øÁ¤±â¼úÀ» °³¹ßÇÏ¿´´Ù´Â Á¡¿¡¼­ Àǹ̰¡ ÀÖ´Ù”°í ¿¬±¸ÀÇÀǸ¦ ¹àÇû´Ù.

±³À°/°úÇкΠ bodo@emoneynews.co.kr

<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © À̸Ӵϴº½º, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>

±³À°/°úÇкΠbodo@emoneynews.co.kr

±³À°/°úÇкÎÀÇ ´Ù¸¥±â»ç º¸±â
iconÀαâ±â»ç
±â»ç ´ñ±Û 0°³
Àüüº¸±â
ù¹ø° ´ñ±ÛÀ» ³²°ÜÁÖ¼¼¿ä.
½Å¹®»ç¼Ò°³¤ý±â»çÁ¦º¸¤ý±¤°í¹®ÀǤýºÒÆí½Å°í¤ý°³ÀÎÁ¤º¸Ãë±Þ¹æħ¤ýû¼Ò³âº¸È£Á¤Ã¥¤ýÀ̸ÞÀϹ«´Ü¼öÁý°ÅºÎ
(ÁÖ)¿£ÄÉÀ̵ð¹Ìµð¾î  |  »ç¾÷ÀÚµî·Ï¹øÈ£ : 106-88-00193  |  ´ëÇ¥ÀüÈ­ : (02)543-2949  |  Æѽº : (02)6455-2078
¼­¿ï½Ã ¼­Ãʱ¸ ¼­ÃÊÁß¾Ó·Î 8±æ 24 ¼­ÃÊ Ä«¶ó¾áŸ¿öºôµù 6Ãþ
Á¤±â°£Ç๰ µî·Ï¹øÈ£ : ¼­¿ï ¾Æ 03922  |  Ã¢°£ÀÏ : 2009. 7.24   |  ±â»ç ¹ßÇàÀÏ : 2009.7.24  |  µî·ÏÀÏ : 2015.10.5
¹ßÇàÀÎ : ½ÉÁöÇö  |  ÆíÁýÀÎ : ±Çº´¿ì  |  Ã»¼Ò³â º¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : ±Çº´¿ì(Á¦È£ : À̸Ӵϴº½º)
º¸µµÀÚ·á : bodo@emoneynews.co.kr  |  Á¦ÈÞ¡¤¾÷¹«°ü·Ã : nkdmedia@daum.net
Copyright © 2009 À̸Ӵϴº½º | (ÁÖ)¿£ÄÉÀ̵ð¹Ìµð¾î. All rights reserved. (À̸Ӵϴº½º´Â ÀÎÅͳݽŹ® À±¸®°­·ÉÀ» ÁؼöÇÕ´Ï´Ù)
Back to Top