¡ã À±¼ø±æ±³¼ö |
À±¼ø±æ ±³¼öÀÇ ÁÖµµÇÏ¿¡ ÁøÇàµÈ À̹ø ¿¬±¸´Â ¡â¾ÈÁر¸ ¹Ú»ç°úÁ¤»ý(Á¦1ÀúÀÚ, Ãæ³²´ë) ¡â¹Ú°æ¿ì ¼®»ç°úÁ¤»ý(Ãæ³²´ë) ¡âÁ¤ÇöÁØ ¼®»ç°úÁ¤»ý(Ãæ³²´ë)ÀÌ Âü¿©ÇÑ ¿¬±¸·Î, ¼ø¼ö ±¹³» ¿¬±¸Àη¸¸À¸·Î Àϱų½ ¿ì¼ö ¿¬±¸¼º°ú¶ó´Â Á¡¿¡¼ ÀÇÀÇ°¡ Å©´Ù.
ÀÌ ¿¬±¸´Â ±³À°°úÇбâ¼úºÎ(Àå°ü ¾Èº´¸¸)¿Í Çѱ¹¿¬±¸Àç´Ü(ÀÌ»çÀå ¹ÚÂù¸ð)ÀÌ Áö¿øÇÏ´Â ¡âÁß°ß¿¬±¸ÀÚÁö¿ø»ç¾÷ Áß µµ¾à¿¬±¸, Çٽɿ¬±¸ ¡â2´Ü°è BK21»ç¾÷ µîÀÇ Áö¿øÀ» ¹Þ¾Æ ¼öÇàµÇ¾ú´Ù.
ƯÈ÷ À̹ø ¿¬±¸°á°ú´Â ³ª³ëºÐ¾ßÀÇ ¼¼°èÀûÀÎ °úÇÐÀú³ÎÀÎ ‘³ª³ë·¹ÅÍ(Nano Letters)’ò¼ Áö³ÇØ 12¿ù 29ÀÏ(È)ÀÚ ¿Â¶óÀÎ ÆÇ¿¡ °ÔÀçµÇ¾ú´Ù.
À±¼ø±æ ±³¼ö ¿¬±¸ÆÀÀº Àú¿Â¿¡¼ ÈÇбâ»óÁõÂø¹ýÀ» ÀÌ¿ëÇØ »óº¯ÈÀç·áÀÎ IST(In-Sb-Te) ¹Ú¸· Á¦Á¶¿Í ³ª³ë¿ÍÀÌ¾î ¼ºÀåÀ» Á¶ÀýÇÏ¿©, °íÁýÀû »óº¯È¸Þ¸ð¸® ¼ÒÀÚ¸¦ ÀÀ¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °øÁ¤¹æ¹ýÀ» °³¹ßÇÏ¿´´Ù.
Áö±Ý±îÁö »óº¯ÈÀç·á¿¡ ´ëÇÑ ¿¬±¸´Â ´ëºÎºÐ Ge-Sb-Te(GST) Àç·á¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ °ÍÀ¸·Î, °íÁýÀû ¼ÒÀÚ¸¦ ¸¸µé±â À§ÇÑ CVD °øÁ¤±â¼ú È®º¸¸¦ À§ÇØ ÁýÁßÀûÀ¸·Î ÁøÇàµÇ¾ú´Ù. ±×·¯³ª ¼¼°è ¼±Áø ¿¬±¸±â°üµµ ¾ÆÁ÷±îÁö 100nm±Þ ¼ÒÀÚ Àû¿ë °øÁ¤±â¼úÀ» È®º¸ÇÏÁö ¸øÇÑ ½ÇÁ¤ÀÌ°í, GST ¹°ÁúÀÇ ¿øõƯÇãµµ ¼±Áø±¹¿¡ ÁýÁßµÇ¾î ¿¬±¸°³¹ßÀÌ ¾î·Á¿ü´Ù.
±×·¯³ª À± ±³¼öÆÀÀº ´ë ¸éÀû ¾ç»êÀÌ °¡´ÉÇÑ À¯±â±Ý¼Ó ÈÇÐÁõÂø¹ý(MOCVD)À» ÀÌ¿ëÇØ, ISTÀç·á¸¦ Àú¿Â(¾à 250oC)¿¡¼ ´Ü¼øÇÑ °øÁ¤¾Ð·Â Á¶ÀýÀ» ÅëÇØ ¹Ú¸· ÁõÂø°ú ³ª³ë¿ÍÀ̾î Á¦Á¶¿¡ ¼º°øÇÏ¿´´Ù.
±âÁ¸ÀÇ ³ª³ë¿ÍÀ̾îµéÀÌ ³ôÀº ¿Âµµ(>500oC)¿¡¼ Ã˸ŹÝÀÀÀ¸·Î Á¦Á¶µÇ´Â ¹Ý¸é¿¡, À̹ø ¿¬±¸´Â ±Ý(Au) µî ±Í±Ý¼Ó ³ª³ëµµÆ®(Nano dot)µéÀÇ Ã˸ŹÝÀÀ ¾øÀÌ, Àú¿Â(~ 250oC)¿¡¼ 13x102PaÀÇ °øÁ¤¾Ð·Â º¯È¸¦ ÅëÇØ »óº¯È Àç·áÀÎ IST ³ª³ë¿ÍÀ̾ Á¦Á¶ÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù.
ÀÌ·¸°Ô Á¦Á¶µÈ IST ³ª³ë¿ÍÀ̾ ÀÌ¿ëÇÏ¿© »óº¯È ¸Þ¸ð¸® ¼ÒÀÚÀÇ Æ¯¼ºÀ» ±¸ÇöÇÑ °á°ú, ¾à 1.6V¿¡¼ ¹®ÅÎÀü¾Ð(Threshold Voltage)À» ³ªÅ¸³»¾ú°í, °¢°¢ ºñÁ¤Áú(Amorphous)°ú °áÁ¤Áú(Crystalline)¿¡¼ 100¹èÀÇ Â÷À̸¦ º¸ÀÌ´Â ¸Þ¸ð¸® Ư¼ºÀ» º¸¿´À¸¸ç, ¸ÖƼ ·¹º§ÀÇ ¸Þ¸ð¸® ±¸µ¿ °¡´É¼ºµµ È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù.
¶ÇÇÑ À±¼ø±æ ±³¼öÆÀÀº °³¹ßµÈ MOCVD °øÁ¤±â¼ú¹ýÀ» ÀÌ¿ëÇØ, 100nm±Þ Æ®·»Ä¡±¸Á¶¿¡ 95% ÀÌ»óÀÇ ´ÜÂ÷ÇǺ¹(Step Coverage)À» º¸ÀÌ´Â °øÁ¤±â¼úÀ» °³¹ßÇÏ¿´°í, Àç·áÀÇ Á¶¼ºÀ» °£´ÜÇÏ°Ô Á¶ÀýÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹æ¹ý°ú ÁõÂø¼Óµµ¸¦ ³ôÀÌ´Â °øÁ¤±â¼úÀ» È®º¸Çϴµ¥µµ ¼º°øÇÏ¿´´Ù.
À̸¦ ÅëÇØ Á¦Á¶µÈ IST Àç·áÀÇ ¹°¼º Ư¼ºÀ» Æò°¡ÇÑ °á°ú, Á¦Á¶µÈ IST Àç·á´Â ºñÁ¤Áú»óÀ¸·Î¼, ¸Þ¸ð¸® ¼¿ ¾È¿¡ °í¸£°Ô ÁõÂøµÇ¾î ±âÁ¸ÀÇ ³·Àº °áÁ¤È ¿Âµµ·Î ÀÎÇØ, CVD¸¦ ÅëÇÑ °íÁýÀû ¸Þ¸ð¸® ¼¿ Á¦Á¶ÀÇ ¾î·Á¿òÀÌ ÀÖ¾ú´ø GST Àç·á °³¹ßÀÇ ¹®Á¦Á¡À» ÇØ°áÇÏ¿´´Ù.
¶ÇÇÑ IST Àç·á¸¦ ÀÌ¿ëÇØ ¸Þ¸ð¸® ¼ÒÀÚ Æ¯¼ºÀ» ºÐ¼®ÇÑ °á°ú, ¸ÖƼ ·¹º§ÀÇ ¸Þ¸ð¸® ±¸µ¿ Ư¼ºÀ» ³ªÅ¸³»´Â °ÍÀ¸·Î È®ÀεǾî, Â÷¼¼´ë ºñÈֹ߼º ¸ÖƼ ·¹º§ ¸Þ¸ð¸® °³¹ßÀÇ °¡´É¼ºÀ» ¿¾ú´Ù.
¿¬±¸¸¦ ÁÖµµÇÑ À±¼ø±æ ±³¼ö´Â “À̹ø ¿¬±¸´Â Áö±Ý±îÁö CVD¹æ¹ýÀ» ÅëÇÑ »óº¯È¸Þ¸ð¸® Àç·áÀÇ °íÁýÀû °øÁ¤±â¼ú °³¹ßÀÇ ¾î·Á¿òÀ» ±Øº¹ÇÏ¿©, ¼ø¼ö ±¹³» ¿¬±¸ÁøÀÌ Àú¿Â MOCVD ¹æ¹ýÀ¸·Î ´Ü¼ø °øÁ¤¾Ð·Â Á¶ÀýÀ» ÅëÇØ ¹Ú¸·°ú ³ª³ë¿ÍÀ̾ Á¦Á¶ÇÒ ¼ö Àִ ȹ±âÀûÀÎ ¿øõ °øÁ¤±â¼úÀ» °³¹ßÇÏ¿´´Ù´Â Á¡¿¡¼ Àǹ̰¡ ÀÖ´Ù”°í ¿¬±¸ÀÇÀǸ¦ ¹àÇû´Ù.
±³À°/°úÇкΠbodo@emoneynews.co.kr
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © À̸Ӵϴº½º, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>