¡ã 23ÀÏ »ï¼ºÀüÀÚ È¼ºÄ·ÆÛ½º¿¡¼ °³ÃÖµÈ 'ȼº EUV¶óÀÎ ±â°ø½Ä'¿¡¼ Âü¼®ÀÚµéÀÌ ±â³ä»çÁøÀ» ÃÔ¿µÇÏ°í ÀÖ´Ù. (¿ÞÂÊ 7¹ø°ºÎÅÍ È²¼ºÅ ȼº½Ã ºÎ½ÃÀå, ±è±â³² »ï¼ºÀüÀÚ DSºÎ¹®Àå, ±ÇÄ¥½Â ȼºº´ ±¹È¸ÀÇ¿ø, Á¤Àº½Â »ï¼ºÀüÀÚ DSºÎ¹® ÆÄ¿îµå¸®»ç¾÷ºÎÀå) ¨ÏÀ̸Ӵϴº½º |
»ï¼ºÀüÀÚ°¡ 23ÀÏ °æ±âµµ ȼºÄ·ÆÛ½º¿¡¼ ‘»ï¼ºÀüÀÚ È¼º EUV ¶óÀÎ ±â°ø½Ä’À» ¿°í º»°ÝÀûÀ¸·Î ¶óÀÎ °Ç¼³¿¡ Âø¼öÇß´Ù.
À̹ø¿¡ Âø°øÇϴ ȼº EUV ¶óÀÎÀº 2019³â ÇϹݱ⿡ ¿Ï°ø, ½ÃÇè »ý»êÀ» °ÅÃÄ 2020³âºÎÅÍ º»°ÝÀûÀ¸·Î °¡µ¿À» ½ÃÀÛÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
À̹ø ½Å±Ô ¶óÀο¡´Â ¹Ì¼¼°øÁ¤ ÇÑ°è ±Øº¹¿¡ ÇʼöÀûÀÎ EUV(Extreme Ultra Violet, ±ØÀڿܼ±) Àåºñ°¡ µµÀ﵃ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÇâÈÄ ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼°øÁ¤ ±â¼ú ¸®´õ½ÊÀ» À¯ÁöÇÏ´Â µ¥ ÇÙ½É ¿ªÇÒÀ» ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷Àº °øÁ¤ ¹Ì¼¼È¸¦ ÅëÇØ ÁýÀûµµ¸¦ ³ôÀÌ°í ¼¼¹ÐÇÑ È¸·Î¸¦ ±¸ÇöÇÏ¸ç ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ¼º´É°ú Àü·Â È¿À²À» Çâ»óÇØ ¿Ô´Ù. ±×·¯³ª ÃÖ±Ù ÇÑ ÀÚ¸´ ¼ö ³ª³ë ´ÜÀ§±îÁö ¹Ì¼¼È°¡ ÁøÇàµÊ¿¡ µû¶ó º¸´Ù ¼¼¹ÐÇÑ È¸·Î¸¦ ±¸ÇöÇϱâ À§Çؼ´Â ±âÁ¸ ArF(ºÒȾƸ£°ï) ±¤¿øº¸´Ù ÆÄÀåÀÌ ÂªÀº EUV ÀåºñÀÇ µµÀÔÀÌ ºÒ°¡ÇÇÇÏ°Ô µÇ¾ú´Ù.
EUV ±â¼úÀÌ º»°ÝÀûÀ¸·Î »ó¿ëÈµÇ¸é ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ¼º´É°ú Àü·Â È¿À²À» Çâ»óÇÒ ¼ö ÀÖÀ½Àº ¹°·Ð ȸ·Î Çü¼ºÀ» À§ÇÑ °øÁ¤ ¼ö°¡ ÁÙ¾îµé¾î »ý»ê¼ºµµ ȹ±âÀûÀ¸·Î ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù.
»ï¼ºÀüÀڴ ȼº EUV ¶óÀÎÀ» ÅëÇØ ÇâÈÄ ¸ð¹ÙÀÏ/¼¹ö/³×Æ®¿öÅ©/HPC µî °í¼º´É°ú ÀúÀü·ÂÀÌ ¿ä±¸µÇ´Â ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå ¼ö¿ä¿¡ Àû±â ´ëÀÀÇÏ°í, 7³ª³ë ÀÌÇÏ ÆÄ¿îµå¸® ¹Ì¼¼°øÁ¤ ½ÃÀåÀ» ÁÖµµÇØ ³ª°¥ °èȹÀÌ´Ù.
ȼº EUV¶óÀÎÀÇ Ãʱâ ÅõÀÚ ±Ô¸ð´Â °Ç¼³ ºñ¿ë Æ÷ÇÔ 2020³â±îÁö 60¾ïºÒ ¼öÁØÀ¸·Î, »ï¼ºÀüÀÚ´Â ¶óÀÎ °¡µ¿ ÀÌÈÄ ½ÃȲ¿¡ µû¶ó Ãß°¡ ÅõÀÚ¸¦ ÃßÁøÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
2000³âµµ »ï¼ºÀüÀÚ È¼ºÄ·ÆÛ½º °³¹ß·Î ½ÃÀÛµÈ »ï¼ºÀüÀÚ¿Í È¼º½ÃÀÇ µ¿¹Ý ¼ºÀåÀº À̹ø EUV ½Å±Ô ¶óÀÎ °Ç¼³·Î ´õ¿í È®´ëµÉ Àü¸ÁÀÌ´Ù. ȼº½Ã´Â ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ ¸ÞÄ«·Î¼ÀÇ ÀÔÁö¸¦ È®°íÈ÷ ÇÏ°Ô µÆ´Ù.
À̳¯ ±â°ø½Ä¿¡´Â ±ÇÄ¥½Â ±¹È¸ÀÇ¿ø(ȼº½Ãº´), Ȳ¼ºÅ ȼº½Ã ºÎ½ÃÀå, »ï¼ºÀüÀÚ DSºÎ¹®Àå ±è±â³² »çÀå, ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷ºÎÀå Á¤Àº½Â »çÀå, Áö¿ªÁֹΠµî ¾à 300¸íÀÌ Âü¼®Çß´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ DSºÎ¹®Àå ±è±â³² »çÀåÀº ±â³ä»ç¸¦ ÅëÇØ “À̹ø ȼº EUV ½Å±Ô ¶óÀÎ ±¸ÃàÀ» ÅëÇØ È¼ºÄ·ÆÛ½º´Â ±âÈï·È¼º·ÆòÅÃÀ¸·Î À̾îÁö´Â ¹ÝµµÃ¼ Ŭ·¯½ºÅÍÀÇ Áß½ÉÀÌ µÉ °Í”À̶ó¸ç “»ï¼ºÀüÀÚ´Â »êÇп¬ ¹× °ü·Ã ¾÷°è¿ÍÀÇ ´Ù¾çÇÑ »ó»ýÇù·ÂÀ» ÅëÇØ ±¹°¡ °æÁ¦¿¡ ±â¿©ÇÒ °Í”À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
ÇÑÆí »ï¼ºÀüÀÚ´Â ÆÄ¿îµå¸® 7³ª³ë °øÁ¤ºÎÅÍ EUV ±â¼úÀ» Àû¿ëÇϱâ À§ÇÑ ¿¬±¸°³¹ßÀ» Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ¼öÇàÇØ ¿ÔÀ¸¸ç ±Û·Î¹ú °í°´°ú 7³ª³ë EUV °øÁ¤À» È°¿ëÇÑ Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ Ĩ °³¹ß¿¡ Çù·ÂÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÀÓ¼ö¹Î ±âÀÚ bodo@emoneynews.co.kr
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © À̸Ӵϴº½º, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>